光伏产业作为清洁能源领域的重要组成部分，其生产过程中产生的废气治理问题正受到越来越多的关注。光伏组件制造涉及硅材料加工、电池片制备、组件封装等多个环节，每个环节都会产生不同类型的废气污染物，这些废气若未经有效处理直接排放，将对生态环境和人体健康构成严重威胁。
在硅片清洗工序中，主要产生含氟化氢、硝酸和氢氧化钠的酸碱混合废气；扩散工艺会释放磷氧氯化合物和氯气；PECVD环节排放的废气中含有硅烷、氨气等特种气体；丝网印刷和烧结工序则会产生有机挥发物和铅化合物。这些废气不仅具有强腐蚀性，部分成分还具备易燃易爆特性，给处理工作带来极大挑战。特别是单晶硅生产线产生的废气中氟化物含量较高，而薄膜电池生产过程则会产生更多重金属化合物废气，不同工艺的废气特性差异显著。
针对废气成分的复杂性，行业普遍采用分级处理的技术路线。前处理阶段通过集气罩和风管系统对废气进行分类收集，含尘废气需先经过旋风除尘器或布袋除尘器进行预处理。酸性废气处理主要采用填料塔喷淋吸收法，可根据具体成分选择碱液喷淋或氧化吸收工艺；碱性废气则通过酸液喷淋进行中和处理。对于有机废气，高浓度情况优先采用蓄热式燃烧(RTO)或催化燃烧(CO)技术，低浓度废气则适用活性炭吸附或生物处理法。
在实际工程应用中，往往需要组合多种处理工艺才能达到理想效果。某华东地区单晶硅电池片生产企业年产能达1.2GW，其制绒、扩散和PECVD工序产生的废气成分复杂，包含氟化氢、氯气、硅烷和氨气等。该企业采用"碱喷淋+氧化吸收+活性炭吸附"的组合工艺，通过两级喷淋塔分别处理酸碱废气，专用燃烧器处理特种气体，最后经活性炭吸附装置确保有机污染物达标。项目实施后，氟化氢排放浓度低于2mg/m³，硅烷完全分解，非甲烷总烃去除率超过92%，系统能耗较传统工艺降低约15%。
光伏组件封装环节的废气治理同样面临挑战。某年产能800MW的封装工厂在层压和固化工序中产生大量有机废气，主要成分为EVA热解产物和溶剂挥发物。该厂原有处理系统存在收集效率低、运行成本高等问题，导致厂区周边异味投诉频发。改造项目采用"预处理+RTO燃烧+余热回收"工艺，通过改进集气系统、增设过滤冷凝装置、选用三室RTO核心设备，使非甲烷总烃排放浓度稳定在20mg/m³以下。余热回收系统每年可节约天然气约15万立方米，运行成本降低30%，彻底解决了异味问题。
废气处理设备的选型需充分考虑光伏生产的特殊性。喷淋塔作为酸碱废气处理的核心设备，推荐采用PP或FRP材质，塔内应设置高效填料层和多级喷淋系统。对于硅烷等特种气体，需配备专用燃烧分解装置。有机废气处理方面，RTO设备适合大风量、中高浓度场合，活性炭吸附装置则适用于小风量、低浓度废气处理。考虑到部分工序废气排放的间歇性特点，处理系统应具备足够的缓冲能力和调节灵活性，所有电气设备必须符合防爆要求。
随着环保标准的日益严格，光伏废气处理技术正朝着精细化、智能化方向发展。针对不同工序废气特性开发专用处理方案，应用智能控制系统提高处理效率，优化热回收技术降低能耗，研发新型吸附材料和催化剂提升处理效果，这些技术进步正在推动行业环保水平的整体提升。光伏企业需要持续关注技术发展趋势，定期评估现有处理系统的适应性，通过必要的升级改造实现环境效益和经济效益的双赢。
