【沃资讯】12月26日消息，韩国三星电子公司近日宣布正积极研发一款全新的"智能传感器系统"，旨在应用于半导体工艺的控制和管理领域。
半导体生产过程中，提高半导体良率的关键之一在于确保等离子体的均匀性和密度。这款被称为"智能传感器系统"的新技术将用于测量晶圆等离子均匀性，并精确测量以及管理蚀刻、沉积和清洗等工艺性能，有望大幅提升半导体的良率和产能。
以往，三星电子大多采购国外厂商生产的晶圆智能传感器，投入了数千万韩元的巨资。然而，近期对于提高产量的需求急速增长，这促使三星电子决定自主研发，以减少对外国传感器的依赖程度。
据悉，三星电子正在研发的这款智能传感器体积微小，不会对现有设备的空间布局产生重大影响，这将意味着不仅可以提高生产空间的有效利用，还能够提升产能。
据沃资讯了解，三星电子计划逐步扩大智能传感器的研发和应用范围，其目标不仅仅局限于等离子体领域，还将研发可用于各种半导体工艺的SMART传感器和系统。这一举措显示了三星电子在半导体领域持续创新的决心，有望推动其在全球半导体市场中的竞争力进一步提升。
