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马斯克Terafab芯片厂或采用FEL技术,挑战阿斯麦EUV光源方案

2026-08-10来源:天脉网编辑:瑞雪

特斯拉创始人马斯克在公布超级芯片厂Terafab高达168亿美元的初期投资计划时,同步展示了一段该芯片厂建成后的概念视频。视频中,一座规模宏大的芯片制造基地引发了外界关注,尤其是其中心位置一个巨大的环形结构,成为讨论焦点。

硅谷“有效加速主义”代表人物、AI硬件初创公司Extropic创始人纪尧姆·韦尔东(化名Beff Jezos)率先提出疑问:Terafab中心的环形结构是否为环形粒子加速器?对此,马斯克以“FEL FTW”的简短回应引发更多猜测。随后,Gork官方发布消息称,根据官方渲染图,Terafab的中央环形结构确为回旋加速器或同步辐射环,其功能是为光刻车间提供自由电子激光(FEL)极紫外(EUV)光束。

当前,光刻机领域的主流技术由阿斯麦(ASML.US)等企业主导,采用激光产生等离子体(LPP)光源方案。该技术通过高功率激光轰击高速飞行的锡滴,使锡原子形成高温等离子体并释放13.5纳米波长的极紫外光。然而,LPP技术存在两大缺陷:一是能量转换效率极低,输入电能到EUV输出的比例仅约0.1%;二是锡滴被轰击后会产生碎片和污染物,增加设备维护成本。尽管如此,LPP光源体积小巧(仅数立方米),仍是目前唯一可大规模量产的EUV光源技术。

相比之下,FEL技术通过高速电子束直接产生高能光束,可同时为多台光刻机提供波长可精确调整的光源。但这一方案的代价是设备体积庞大,远超现有光刻机光源系统的规模。Terafab若采用FEL技术,或将重新定义芯片制造的光源供应模式,但其工程实现难度与成本效益仍需进一步验证。

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